水中マイクを用いた研削盤テーブルの反転制御－システムの信頼性と汎用性の向上

摘要

これまで，水中マイクを用いた平面研削盤テーブルの反転制御システムを構築し，工作物形状に応じた反転制御を実現した．しかし，研削液の流れに乱れがあることなどのため，水中マイクで得られた信号のS/N比が小さく，本システムを適用できたのは多孔質砥石のみであった．そこで本研究では，研削液供給パイプに整流装置を設置するとともに，ノズルの改良によってS/N比を向上させた．その結果，気孔の比較的小さい一般砥石や気孔のほとhどない超砥粒ホイールにも本システムが適用できた．また，工作物の幅や高さが小さい場合および左右に並べて配置した2つの工作物にすきまがある場合などの反転性能を明らかにした．砥石と工作物の間隙が150μm程度離れていても，安定した反転制御が可能になったことから，研削砥石の自動アプローチに引き続く反転制御を試みた結果，加工時間を大幅に削減できた．