近代研磨技術発展の経緯

摘要

さて，今回依頼された当初のテーマは「研磨のルーツ」であるが，この広い意味での「研磨」について，しかも古代から連綿と続くこの技術のルーツを整理して書くことは筆者には荷が重く，むしろこの分野の大先達である河西先生がまとめられるであろうことを前提に，筆者は戦後のとくに半導体黎明期前後以降の高機能材料の先端的ポリシング技術の発展経緯に焦点を当てさせていただくことでお許しを請いたい．