軸対称非球面研削における研削表面のナノトポグラフィー

摘要

軸対称非球面研削によって加工された研削面上には規則的で微小なうねりが存在する．一般に軸対称非球面のレンズあるいは金型はボリッシングによって仕上げ加工がなされる．ポリッシングによって粗さは十分に小さくすることは可能であるが，うねりを十分に除去することはできない．加工面上に残ったうねりは形状精度を低下させる．また研削模様として現れ，製品の光学機器としての精度を低下させる．本研究ではシミュレーション及び理論計算を行い，うねりの発生原因および研削条件の関係を明らかにした．