クリーンルーム設備：内装設備－クリーンルーム床設備

摘要

クリーンルームは高性能除塵フィルタを通した清浄空気を循環させることにより，浮遊粉塵や温度などの制御を行う室である．クリーンルームの形式は空気循環システムによって，「乱流方式」「水平層流方式」「垂直層流方式」に分類される．ここでは，部屋全体で高い清浄度が得られる垂直層流（ダウンフロー）方式に採用されるフリーアクセス床について説明する．垂直層流方式では，フリーアクセス床により床構造を二重にし，床下空間を空気循環用や設備，配管などのユーティリティスペースとしている（図1，2）．