クリーンルーム設備：内装設備－クリーンルーム間仕切り設備

摘要

近年，クリーンルームと呼ばれる設備が一般名称となり，市場規模，用途などを含め拡大してきている．クリーンルームの一部を構成している間仕切り設備も，用途であるICR（インダストリアルクリーンルーム），BCR（バイオロジカルクリーンルーム），バイオハザード，などいくつかの種類により仕様が異なるが，本稿では主に半導体など電子精密機器などの生産用のICRを対象とした，金属製サンドイッチパネルについての概要を記載する．過去のクリーンルーム間仕切りは，ボードにクロス貼りなどで仕上げた例が多くあったが，最近は金属板を表面材に使用し，芯材を断熱材またはハニカム材などで構成した金属サンドイッチパネルが主流となっている（図1，2参照）．