ИЗМЕРЕНИЕ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК МЕТОДОМ ТРИБОМЕТРИИ

摘要

Описано трибометрическое устройство, предназначенное для экспресс-контроля концентрации атомно-молекулярных загрязнений на поверхности полупроводниковых и диэлектрических подложек в диапазоне 10~(-7)-10~(-10) г/см~2 и основанное на измерении коэффициентов трения покоя и скольжения между исследуемыми поверхностями. Представлено расположение взаимодействующих подложек, формирующее точечный контакт и позволяющее исключить нарушения кристаллической структуры в области скольжения при нагрузках в диапазоне 0-3.7 Н и углах между подложками 0-15°.