Приводятся результаты исследований источника атомов металла, поток которых совмещен в пространстве и во времени с потоком быстрых атомов газа. Быстрые частицы образуются при перезарядке ионов, ускоренных разностью потенциалов между плазменным эмиттером внутри источника и вторичной плазмой в рабочей вакуумной камере. Эмиттером является плазма тлеющего разряда с удержанием электронов в электростатической ловушке, образованной полым катодом и отрицательной по отношению к нему и к камере эмиссионной сеткой. Атомы металла образуются в результате распыления металлической мишени на дне полого катода ионами аргона с энергией до 3 кэВ, поступающими из плазменного эмиттера. Они пролетают через эмиттер, а затем вместе с ускоренными ионами влетают через эмиссионную сетку в камеру и осаждаются на изделиях. При добавлении к аргону азота на изделиях синтезируются покрытия из нитридов распыляемых металлов, непрерывно бомбардируемые в процессе осаждения атомами и молекулами с энергией, регулируемой от ～10 до ～300 эВ.
展开▼
