ШИРОКОДИАПАЗОННЫЙ СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТР С ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕМ ОРТОГОНАЛЬНЫХ СОСТОЯНИЙ ПОЛЯРИЗАЦИИ НА БАЗЕ МОНОХРОМАТОРА МДР-41

摘要

Описан эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации, главной особенностью которого является использование сдвоенного источника излучения и поляризационных призм Глана-Томпсона из кальцита со сведением и разделением ортогонально поляризованных пучков. Достигнуты высокие воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ в спектральном диапазоне 400-2200 нм. При времени интегрирования в каждой точке 2 с среднеквадратичный шум на длине волны 800 нм и толщине окисла кремния 450 нм для и А составил 0.0025° и 0.016° соответственно. Среднеквадратичный шум на длине волны 1800 нм и толщине окисла кремния 513 нм для Ψ и Δ составил 0.005° и 0.03° соответственно.