真空用電磁弁－真空用3ポジション3ポート電磁弁

摘要

現在の半導体製造装置ではワークとなる半導体チップが小さいため、搬送、固定には真空吸着が多用されている。従って電磁弁は、ワークの吸着および離脱の切り換えとして使用されている場合が多い。電磁弁の種類としては、一般的には真空用、真空破壊用に主に2ポジション3ポートタイプを2台使用している例が多い。 この電磁弁は1台で真空エアと真空破壊エアの切り換えが可能な電磁弁である。