CCDカメラ搭載非接触工具測定装置Visual Tool Setter VTS Compact

摘要

微細精密加工分野において必要とされる微細工具の状態測定と監視を目的とした高精密機上ツールセッタのコンパクトタイプを開発した。微細精密加工用工具を機上で測定することができるシステム。構成は、CCDカメラを搭載したセンサーユニット部、エラボレーションユニット部、グラフィカルインターフェース（表示モニタ、オプション）からなる。