リーンルームにおける省エネと新制御システムへの取り組み－省エネ型恒温恒湿クリーンルームシステム

摘要

クリーンルームは、安定した空気を得るために、半導体から食品加工と様々な業界で多くのシステムが組まれている。 熱源には過冷却した空気を電気や蒸気ヒータを用いて再加熱し、要求条件に達した温調空気を供給する方式が一般化している。 つまり、冷却能力と同等のヒーター能力が必要となり、無駄な電力を消費しているケースが大半であった。 このシステムのメリットは温度精度にあり、安定した温度が得られる特長がある。 当社もこの再熱方式に多くのクリーンルームシステムを依存していた。 しかし、最近、地球温暖化防止のためのCO{sub}2削減がクローズアップされ、省エネが必要不可欠なアイテムとなってきている。 新開発の当社クリーンルームシステム「クリエコエース」は、空調設備の運転電力を大幅に削減し、ランニングコストを50％まで抑える空調機「クリエコパック」（写真1）を採用し、独自の制御で温度、湿度をそれぞれ±1°C、±5％にコントロールすることを可能にしている。