難削材用ダイヤモンドワイヤカッティングマシン「T-8331 A」

摘要

これらのウェハメーカーでは、市場拡大により競争が激化しており、大口径での高精度、高能率および低ランニングコストに対応できるスライシング装置が求められている。当社では1990年から半導体、太陽電池向けのスライシング装置の製造、販売を行っており、昨年、半導体用Φ12インチウェハ加工で培った高精度加工技術と太陽電池用ウェハ加工で培ったダイヤモンドワイヤ加工技術をベースに、ダイヤモンドワイヤカッティングマシン「T-8331 A」を開発し販売を開始している。ここでは、ダイヤモンドワイヤによる難削材スライシング加工に関する技術課題と、具体的対応策事例を説明する。