超精密研磨加工はどこまで進hだか：II.各種研磨法の開発成果－電解砥粒研磨

摘要

電解とは，電解液中の陽極金属が電子を失うことにより表面に酸化皮膜を形成した後，この皮膜が破壊されてイオンの形で液中に溶出する現象である．電解を加工に利用する際の目的あるいは期待される効果としては，表面品位と加工能率の向上がある．前者の例には電解研磨，後者には電解加工があげられる．電解研磨は静止液中で行われ，表面の不働態酸化皮膜は電解液に含まれる酸あるいはアルカリ性の化学成分により化学的に分解される．一方，電解加工はm/sオーダーで流動する電解液中における10A/cm{sup}2オーダーの電流密度（電解研磨よりも2桁上）で生じる不働態皮膜が自然に壊れる過不働態化現象を利用する．