ダイヤフラム構造を利用したガラス基板光導波型マイクロホンの設計－感度のダイヤフラム厚依存性およびダイヤフラム辺比依存性

摘要

光導波型マイクロホンの感度は，ダイヤフラム厚の2乗に反比例することが理論的に分かっている．また，理論計算によると，感度は，ダイヤフラム辺比1以下では，辺比が大きくなるにつれて高くなっていくが，辺比1以上ではほとhど変化しなくなる．これらの依存性は，光導波型マイクロホンを設計する上で重要であるが，これまで実験的には明らかにされていない．そこで，本研究では，これらの依存性を実験的に考察した．次に，感度のダイヤフラムサイズ依存性を考慮して，ダイヤフラムサイズ20mm×20mm×0.15mmの光マイクロホンを試作し，100dB-SPLの音波検出に成功した．