張り出しの無い真直三脚音さを用いた水平横置き型圧電単結晶振動ジャイロの有限要素解析

摘要

本報では、圧電振動ジャイロ·センサ用材料として水晶を含めた他の圧電単結晶材料の利用や機械加工などの安価な加工方法によるデバイス作製を目的に、従来考えられていた三脚音さ共振子を用いた水平横置き型のジャイロ·センサの検出原理について、有限要素解析により再検討を行った。 その結果、L字型の駆動脚は必ずしも必要がないことが判明した。そこで、張り出しの無い実直三脚音さを用いた水平横置き型圧電単結晶振動ジャイロ·センサを提案した。そして、水晶、ランガサイト及びニオブ酸リチウムといった圧電単結晶材料に対して、有限要素法による角速度検出特性の解析を行い、高感度化や小型化に対する有効性を示した。