縦振動子とねじり振動子を用いた超音波複合振動源による超音波接合－振動軌跡の形状を変化させた場合の検討

摘要

筆者らは，超音波複合振動を用いた超音波応用加工について検討を行なっている．そのための振動源として，共振周波数の異なる縦振動子及びねじり振動子を用いた超音波複合振動源を開発した．この振動源は伝搬する各振動の振動分布が一致するため剛体への固定が容易である．また，各振動子への入力信号の大きさを変化させることにより，各振動の制御が可能である．本稿では，開発した振動源の特徴でもある各振動の制御に着目し，振動軌跡の形状を変化させた場合の銅板とアルミニウム板の接合特性について検討を行なった．また，ここでは接合時の接合対象の損傷を防止するために球面加工された接合チップを用いた．