水熱PZT多結晶膜を用いた一次元アレイ超音波プローブに関する基礎研究－多結晶膜振動子の配列化と受信波形の確認－

摘要

我々は、水熱合成法を用いてチタン基板上にPZT多結晶膜を成映して超音波プロいプ用の振動子を開発してきた。 そこで本研究では、共振周波数10MHzの小型医用アレイ超音波プローブへ応用するために、スパッタ法とフォトリソグラフィを用いてハイドロキシアパタイト基板上にチタン膜電極をエレメントピッチ75μm、素子幅40umの1次元アレイ状にパターニングした。 その後、チタン膜竃極アレイ上に膜悍約10μmのPZT多結晶膜を水熱合成し、小型1次元アレイ超晋波振動子を作製する執こ成功した。その後、共振周波数10MHzの水浸型超音波プローブを用いて、単一素子の受信超音波波形の観測を行った。 送信用プロいプと今臥駄作した一次元アレイ振動子を距離約15mmで対向させて受信波形を測定した結果、トリガから約15μs後に超音波の受信波形を確認する番が出来た。