アルバック，低環境負荷対応·異なる測定範囲の測定子が接続可能な広帯域対応真空計を開発

摘要

㈱アルバックは，異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサータイプのG-TRANシリーズ「マルチイオンゲージ·SH2」を開発し，販売していくことを発表した。本製品は，ピラニゲージ「SPU」と大気圧センサ「SAU」の信号を取りこhで3機種を連動させる分離型の広帯域対応真空計であり，ユーザーの要求する真空度の領域に合わせて搭載する測定子を選定することができる。