Development of Inspection Technology Using Remote Imaging and Spectroscopy and application of Inspection Technology to industry

摘要

本報告では複合型光ファイバスコープを用い、CWレーザだけでなくパルスレーザの導光可能なカップリング装置を作製および基礎試験を行なった。このカップリング装置には分光器を組み込み、対象物表面をレーザ照射した際に発するプラズマ光の分光計測が可能である。しかし、水中ではレーザアブレーションにより生成したプラズマが水により急激に冷却されるため、発光を効率よく観察することが困難である。そこで水中において対象物表面をレーザ照射した際に発するプラズマ光を容易に取得するため、対象物表面の一部を圧空で排水し、擬似的に気相雰囲気下にする機能を付加した。さらに、Φ1mmの複合型光ファイバスコープの視野拡大のため、ファイバ先端部に防水機能をもつ広角光学系を取り付けることで、水中の対象物を的確に捉えることが可能となった。次節ではこれらの要素技術の開発結果と適用例について報告する。