島津のX線を用いた検査装置：透視装置「SMX－1000／2000」およびCT装置「inspeXio SMX-225CT」

摘要

内部を非破壊で観察できるX線検査装置は、部品の検査、故障解析などの分野で利用が広まっている。中でも高拡大で鮮明な画像が観察できるマイクロフォーカスのX線装置が注目されている。ここでは島津のマイクロフォーカスのX線検査装置として、外観カメラを搭載し位置決めを簡単に行える透視装置「SMX-1000／2000」およびCT装置「inspeXio SMX-225CT」を中心に最新技術を紹介する。