反磁性グラファイト板を用いた非接触二次元位置制御形アクチュエータ試作器における磁気支持剛性の改良

摘要

この「ゼロパワーで位置決めできる二次元非接触マイクロ·モーション·アクチュエータ」のプロトモデルにおいては，これまでに3～5μm程度の位置決め精度が実現できることを示してきたが，さらに，数十nm の「高精度な位置決め」を実現するため，PG板試料の磁気支持剛性の改善について検討をしている［11，12］。本報では，パッシブに磁気支持される八角形PG板試料の磁気支持剛性向上に関する方法と新たな観測結果を示し，本モデルの「二次元非接触マイクロ·モーション·アクチュエータ」としての特性を検討する。