Back-Scattering of Heavy Ions: a New Method of Nanostructure Analysis

L.E.Kuzmin

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Back-Scattering of Heavy Ions: a New Method of Nanostructure Analysis

机译：重离子的背散射：一种新方法纳米结构分析

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A new method of nanostructure diagnosis - backscattering of heavy ions (BSIII) of the energy 0/5-1 MeV-isproposed. A procedure providing determination of theparameters of ion-substance interaction is considered. Theresolution of the method in depth is 1 nm and the detectionlimit is 10~9-10~11 at/cm~2.

机译：一种新的纳米结构诊断方法 - 重散离子（BSIII）的反向散射0 / 5-1mev-usproped。考虑了提供离子物质相互作用的分辨率确定的程序。在深度深度的情况下求解为1nm，并且检测基础为10〜9-10〜11，在/ cm〜2。

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来源
《Заводская лаборатория: Ежемес.науч.-техн. журн. по аналит. химии, физ., мат. и мех. методам исслед. материалов》 |2000年第3期|共3页
作者
L.E.Kuzmin;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类分析化学;
关键词

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