Развит метод высокоразрешающей рентгеновской рефлектометрии с привлечением генетического алгоритма "Дифференциальной эволюции" для глобальной минимизации целевой функции. Путем совмещения генетического алгоритма с методом Левенберга-Марквардта проведена оптимизация вычислительного процесса, позволившая сократить требуемое время в 3-4 раза. Выполнены исследования структурных свойств многослойных систем АЛ/За! _дАв/СаАз/А^Са! "^Ав для х ~ 0.2, выращенных на СаАв (001). Получены профили плотности вдоль нормали к поверхности и определены размеры переходных слоев с разрешением 0.1-0.2 нм.
展开▼
