ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛЬНО ШЕРОХОВАТЫХ ФРАКТАЛЬНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОГО РАССЕЯНИЯ В УСЛОВИЯХ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ

摘要

Применимость подходов к описанию рассеяния жесткого рентгеновского излучения на шероховатых поверхностях, как правило, ограничена максимальным значением высот шероховатостей поверхности, не превышающим 1 нм. В ряде случаев при обработке поверхности различных материалов, особенно на начальных стадиях, это значение больше в несколько раз. Для осуществления контроля параметров шероховатости на всех этапах обработки поверхности развит подход, основанный на разложении волнового поля в ряд по собственным плоским функциям, описывающим малоугловое рассеяние падающего рентгеновского излучения в терминах плоских q-волн, распространяющихся через границу раздела двух сред со случайной функцией высот рельефа. Получена система двух связанных друг с другом интегральных уравнений для определения амплитуд отраженных и прошедших плоских q-волн. В нулевом порядке найденные решения соответствуют известным выражениям Френеля для идеально плоской поверхности раздела. С использованием решений получена статистическая фрактальная модель изотропно шероховатой поверхности раздела в терминах среднеквадратичной шероховатости σ, двухточечной длины корреляции ? и индекса фрактальности h. Эта модель применена для интерпретации данных рентгеновского рассеяния на полированных поверхностях образцов монокристаллического теллурида кадмия.