软X射线掠入射光学散射特性检测

摘要

本文应用软X射线反射率计分别针对不同的反射镜样品,在不同的工作波段及掠射角的情况下进行软X射线波段掠入射光学表面散射的实验研究.经过数据处理后,从实验的角度分别分析了掠射角、波长和粗糙度几个因素对软X射线掠入射表面散射的影响,研究表明:随着表面粗糙度的增加、掠射角的增加及波长的减小,掠入射光学散射现象越来越严重,掠入射光学系统的光学性能降低.