ОПТИМИЗАЦИЯ КОЛЬЦЕВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ДЕТЕКТОРОВ ОБРАТНО РАССЕЯННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ В РЭМ

摘要

Проанализированы характеристики различных кольцевых детекторов обратно рассеянных электронов (ОРЭ) в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Предложены модифицированные конфигурации детекторов, существенно улучшающие их эффективность: использовать кольца с переменной шириной, расположенные перпендикулярно к падающему потоку ОРЭ.