Влияние числа атомов углерода в молекулярном предшественнике на размер кристаллитов алмазных пленок при плазмохимическом газофазном осаждении

摘要

Представлены результаты исследования влияния числа атомов углерода молекулы углеродсодержащего предшественника на размер кристаллитов алмазных пленок, выращенных на кремниевых подложках в условиях стимулированного СВЧ-плазмой процесса химического газофазного осаждения Продемонстрировано, что размер кристаллитов уменьшается с увеличением числа углеродных атомов в молекуле. Обнаруженная тенденция коррелирует с возрастанием интенсивности линии С2 (516.5nm) в оптическом эмиссионном,спектре плазмы;что, вероятно, связано с участием радикалов Сггв зарождении дополнительных центров нуклеации на поверхности растущей алмазной пленки