Влияние материала подложки на осаждение углеродных пленок из газовой фазы

摘要

Представлены результаты сравнительного исследования углеродных пленок, полученных плазмохимическим осаждением на подложках, изготовленных из никеля и кремния. Осаждение пленок проводилось из газовой смеси водорода и метана, активированной разрядом постоянного тока. Состав и структурные характеристики пленок анализировались методами комбинационного рассеяния света и растровой электронной микроскопии. Обнаружено, что по сравнению с кремнием образование нанографитных пленок на никеле происходит при существенно более низких температурах и концентрациях метана.