［招待講演］磁気ディスク界面の測定技術：プラズモンセンサの応用－サブナノメートルへの挑戦

摘要

4Tb／in2以上の記録密度に対応する極薄潤滑膜／DLC保護膜の化学構造を、プラズモンセンサと表面増強ラマン散乱分光法で測定することに成功した。また膜の深さ方向の化学構造変化も0.1nmの分解能で測定した。