Влияние диссипации кинетической энергии колебаний на надежность функционирования балочных микрорезонаторов

摘要

Приводятся результаты исследования физических процессов, приводящих к нарушению адгезии пленочных проводников, нанесенных на балки микрорезонаторов, в режиме высокочастотных колебаниях. Определена величина критической силы, при которой происходит отслаивание пленки, и соответствующее ей значение критической температуры.