ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ДАТЧИКИ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ НА СТРУКТУРЕ 'ПОЛИКРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК' С УЛУЧШЕННЫМИ МЕТРОЛОГИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ

И. Н. Баринов; А. В. Федулов; В. С. Волков

首页> 外文期刊>Датчики и системы >ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ДАТЧИКИ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ НА СТРУКТУРЕ 'ПОЛИКРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК' С УЛУЧШЕННЫМИ МЕТРОЛОГИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ

【24h】

ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ДАТЧИКИ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ НА СТРУКТУРЕ 'ПОЛИКРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК' С УЛУЧШЕННЫМИ МЕТРОЛОГИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ

机译：高温绝对压力传感器在“多蜡介质”结构上，具有改善的计量特性

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

获取外文期刊封面封底 >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Описано применение структуры "поликремний-диэлектрик" для создания высокотемпературных датчиков абсолютного давления. Предложены конструктивно-технологические решения для снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала благодаря использованию многоэлементной мостовой схемы и усовершенствованной технологии диффузионной сварки.

机译：“多屏介质”结构的应用描述为产生高温绝对压力传感器。提出了建设性的技术解决方案，以降低由于使用多元件桥电路和改进的扩散焊接技术而导致的温度依赖性和输出漂移的消除。

著录项

来源
《Датчики и системы》 |2012年第10期|共5页
作者
И. Н. Баринов; А. В. Федулов; В. С. Волков;
展开▼
作者单位

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类 TP212;
关键词
структура "поликремний-диэлектрик"; высокотемпературный полупроводниковый датчик абсолютного давления; многоэлементная мостоваясхема; полость опорного давления; диффузионная сварка;

机译：结构“聚奇介质”;高温半导体绝对压力传感器;多元素路面;参考压力;扩散焊接;

相似文献

中文文献
专利

ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ДАТЧИКИ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ НА СТРУКТУРЕ 'ПОЛИКРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК' С УЛУЧШЕННЫМИ МЕТРОЛОГИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅