Наноструктуры с магни- тострикционным и магниторезистивным эффектом для устройств магнитной стрейнтроники

摘要

Представлены результаты экспериментальных исследований магнитострикционных и магниторезистивных свойств тонкопленочных многослойных наноструктур Ta/FeNiCo/Co_(50)Fe_(50)/Ta и Ta/FeNiCo/CoFeB/Ta на окисленных кремниевых подложках диаметром 100 мм для создания на их основе гибридных магниторезистивных и магнитострикционных элементов магнитной стрейнтроники. Приведены методики исследования магнитострикционных и магниторезистивных свойств наноструктур. Экспериментально установлена зависимость величины анизотропного магниторезистивного эффекта от механической деформации в экспериментальных образцах наноструктур.