微細MOSFETの高電界効果と素子構造- 信頼性物理の研究-

摘要

今回，光栄なことに第10回応用物理学会業績買「集積化シリコン微細MOSFETの高電界効果に関する先駆的研究と産業技術への応用研究」をいただいた． この記事では私たちが行った半導体の信頼性物理の研究を振り返ってみたい．