大気圧非平衡DCパルス放電プラズマの発光分光計測及びPENフイルムの表面改質

摘要

現在，大気圧非平衡プラズマを用いたプラズマ表面処理技術は，大気圧非平衡プラズマ発生技術において多々の問題点が指摘されている反面，低コネトで比較的に簡単に大気圧下においてプラズマを発生させることができるため,ポリマー材料の表面改質や半導体材料における表面クリーニング技術など数多くの応用例力感昏ざれている［1-4］。