医療，分析機器における半導体検出器の応用

摘要

Ge，Si，化合物半導体などを素材とする半導体検出器（SSD）は、ガス検出器に比べて検出効率が高く、エネルギー分解能に優れている他、磁場の影響を受けにくい∴真空中で容易に使用できる，などの特長を持つことから、多方面への応用が期待されている。しかしながら実用化に当っては、暗電柵ノイズ，温湿度に影響される特性変化など半導体素子特有の欠点も多く、うまく使いこなされていないケースも多々見られる。 ここでは、医療機乳分析機器を中心に半導体検出器の実用例を締介する。 今後の装置開発、実用化の一助となれば幸である。