複合粒子の合成と微粒子成膜ヘの応用

摘要

微粒子の集合体である粉体の特性を生かして,さまざまな材料開発が行われている.特に,ナノ粒子や複合粒子は,新材料創製の鍵を握る素材として注目されている.複合粒子の作製方法にはさまざまなものがあるが,粉体を出発原料とした方法は,多品種少量生産から量産化に至るまでフレキシブルに対応できる.筆者らは,これらのニ一ズに対応するため,機械的手法にょる非加熱単段プロセスの複合粒子製造技術を開発した.さらにこの製造技術を応用して,ドラィプロセスで微粒子を直接基板表面に接合する成膜技術も開発した.本稿では,これらの製造技術の概要を説明するとともに,その応用事例にっいても簡単に紹介する.