ОСОБЕННОСТИ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО СПЕКАНИЯ СЕРЕБРОСОДЕРЖАШЕЙ ПАСТЫ ПРИ СОЕДИНЕНИИ КРЕМНИЯ С МОЛИБДЕНОМ

摘要

Исследованы тепловые эффекты, происходящие при сушке и спекании серебросодержащей пасты, применяемой для получения низкотемпературных соединений в системе кремний на молибдене для полупроводниковых приборов. Исследованы изменение формы и размера частиц серебра в процессе сушки серебросодержащей пасты при различных температурах и зависимость микротвердости спеченных слоев, полученных при различных технологических режимах. Показано, что активное спекание частиц серебра происходит уже при 220 °С, а предварительная сушка при 150 °С позволяет значительно сократить количество органического связующего и тем самым снизить пористость спеченных слоев.