ナノテクノロジギーのための計測技術：走査型マルチプローブ顕微鏡による単一ナノワイヤーの電気特性評価

摘要

走査型マルチプローブトンネル顕微鏡(MPSTM)はマルチプローブ化されたSTMである．なお，図1にわれわれが開発した超高真空MPSTMを示すが，その概要および初期の計測については，本誌第38巻第12号に解説記事を掲載している．本稿ではMPSTMを用いたナノワィヤー電気伝導計測の例を紹介する．STMがSPMへ発展したように，MPSTMからMPSPMへの発展に原理的な障害はない．そこで，ナノスケール計測技術としてのMPSPMへの展開と今後の展望についても言及したい．