酸化物セラミックスの新しい形態－多様なナノ構造と高次機能：強誘電体ナノロッドの作製と集積化－強誘電体を用いたフォトニック結晶

摘要

電子描画装置により作製したレジストモールドを用い，ゾルキャスティング法およびナノ結晶EPD法によるPLZTおよびBTO強誘電体サブミクロンパターンの作製についての具体的事例について述べた．このプロセスの最も大きな問題は，モールドへのゲルあるいはナノ結晶の充填過程において不回避的に形成される上部堆積層の除去である．この堆積層の除去にドライエッチングを用いないとすれば，これまでにないユニークなプロセスの開発が必要となる．モールドを用いないモールドレスEPD法がその有力なプロセスとなるであろう．