酸化亜鉛バリスタ素子の長期課電特性に及ぼす微細構造の影響

摘要

従ってワットロスの増加を防止するために，ZnO素子製造プロセスにおいて，焼成工程の後に823～973Kの熱処理を実施している（Fig.3参照）．このメカニズムとしては，ZnO素子内の粒界層主成分である焼成後のBi_2O_3の結晶構造がα，βないしはδ相であるのに対し，熱処理を行った場合はγ相に変化する．この変化により非オーム性は著しく悪化するものの，高温課電試験時のワットロスの増加を防止するということが定説であった．本研究は，組成配合及び熱処理温度を変化させ，ZnO素子の課電特性並びに微細構造やその他の電気特性を確認することで得た知見から，熱処理による長期課電安定化メカニズムの再検証を目的とする．