デジタル温湿度センサー：＜CMOSens技術による次世代型インテリジェントセンサー＞

摘要

自動化コントロールにおけるセンサーの重要性がますます高まってきているなかで、インテリジェントセンサーには品質向上、より優れたプロセスコントロール、低コストのシステムデザインや安全性等に大きく貢献することが期待される。 センサー最新技術ではその高機能や信頼性だけでなくコスト削減も重要な要因となりユーザーメリットが要求される。 CMOSens はシリコン微細加工によりデザインされたセンサー素子と特殊に開発されたCMOS半導体チップの融合を意味するもので、このユニークなセンサーモジュールにより非常に高精度にいくつかの物理特性（相対湿度、温度、マスフロー等）を測定することができる。 オンチップでアンプ回路が形成され、チャリプレーション及びA/D変換されるので非常に優れた測定精度や繰り返し精度、オフセット安定性が実現している。 本稿ではCMOSens技術のパイオニアであるスイスSensiriop社が開発した超小型、高精度、低価格のデジタル温湿度センサーを紹介する。 超小型パッケージと低消費電力で自動車、デジタル家電、空調·換気等の量産用途からテスト計測機器、データロガーやウェザーステーション等幅広く適用することができる（第1図）。