インナーポールピース型EB源

摘要

真空蒸着用EB源（電子銃）はフィラメントから放出された熱電子を電界レンズによって引き出し，磁場により偏向（電子を収束させたり，曲げたりして所定の位置に到達させること）し，所定の位置に配置されたルツボ内の材料に電子ビーム照射加熱をする様に設計されている．