新磁歪材科の作動原理と最近の用途開発

摘要

多機能性を持つ磁性形状記憶合金（Ferromagnetic Shape Memory Alloy：以降FSMAと記す）は，素材1つで，熱による形状記憶，応力および磁場による回復可能な変形機能をもつので，新素材として注目を集めている．特に，後者は，遠隔操作を可能とし，圧電材料と同様応答速度が速いこと，小型化が可能なことから，現在，医療分野および産業分野におけるマイクロマシンのセンサ·アクチュエータ素材として期待される．このFSMAの磁場によるひずみは，従来の磁歪によるひずみと起源が異なり，Ni{sub}2MnGa単結晶では6％に達する．ここでは，FSMAのFe-Pdについて作製プロセス，特性，応用について述べる．