ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩАЯ КЕРАМИКА НА ОСНОВЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ: Часть II. Исследование микротвердости, вязкости разрушения и остаточных напряжен

摘要

Исследовали влияние температуры термоудара (500, 600, 700 и 1200°C) и содержания MoSi{sub}2 (20, 40 и 60 вес. %) на микротвердость, коэффициент вязкости разрушения нитридкремниевой керамики, в состав которой входили 5 мае. % Y{sub}2O{sub}3 и 1,5 мае. % Al{sub}2O{sub}3 в качестве спекающих добавок. Для обработки полученных результатов использовали методы математического планирования эксперимента, дисперсионного и регрессионного анализов. Установлено, что на микротвердость материала большее влияние оказывает температура термоудара, а на показатель тре-щиностойкости материала - температура и содержание дисилицида молибдена. Немонотонный характер изменения Ж {sub}(1с) в интервале 500-700°C объясняется сложными процессами низкотемпературного окисления MoSi{sub}2 с образованием кристаллов ионного типа MoO{sub}3 и SiO{sub}2, имеющих текстуру, и связанного с ним снижения поверхностной энергии границ зерен MoSi{sub}2