МИКРОСТРУКТУРА СПЛАВА СИСТЕМЫ Si-Cr-Co ДЛЯ МИШЕНЕЙ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

摘要

Приведены результаты исследований скорости охлаждения на микроструктуру литого сплава Si-54%Cr-6%Co для мишеней магнетронного распыления. Сплав содержит фазы CrSi, CrSi_2 и Cr_3Co_5Si_2, обладающие высокой хрупкостью. Экспериментально установлено, что требуемое качество литой мишени указанного состава невозможно получить при высоких скоростях охлаждения сплава. Реализовать условия медленного охлаждения сплава можно при использовании подогреваемой литейной формы и регулировании скорости охлаждения сплава. Показано, что сплав обладает наиболее однородной структурой и наименьшей пористостью при скоростях охлаждения в интервале 0,5-5°C/с.