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向Si结晶中注入氢离子进行热处理，由氢脆后Si单晶断裂而形成薄膜

机译：向Si结晶中注入氢离子进行热处理，由氢脆后Si单晶断裂而形成薄膜

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《新金属工业》 |1997年第365期|共5页
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正文语种 jpn
中图分类稀有金属冶炼;
关键词
硅单晶; 氢离子注入; 断裂; 薄膜;

机译：硅单晶;氢离子注入;断裂;薄膜;

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