ダイセモンド薄膜の放電灯陰極応用

摘要

メタンと水素から合成可能な多結晶ダイヤモンド膜を冷陰極放電灯の陰極材料として提案し，基礎的な放電実験により，その省エネ可能性を初めて実証した。 ダイヤモンドは負性電子親相力と高いイオンスパッタ耐性という放電用冷陰極材料に望ましい物性を持っている。 ボロン（B）を添加して伝導性を付与した多結晶ダイヤモンド膜は, チャンバ中での放電実験により, 既存の金属陰極材料に比べて30％以上低い陰極降下電圧, すなねち陰極損失を示した。 更に表面を水素プラズマ処理することにより最大で50％以上の陰極降下電圧低減が観測された。 ダイヤモンド膜は需要が拡大している液晶ディスプレイ用冷陰極放電灯（CCFL）の新しい陰極材料として有望である。