海外の大型液晶パネル工場向けクリーンルームシステム

摘要

世界中でディジタル放送の普及が進hでいることもあり，液晶テレビの生産増加およびテレビ画面の大型化が活発化しつつある。 製造コストを低減するためにガラス基板の大型化が図られているが，これに伴い，製造装置とそれに付随する各設備も大型化するため，必然的に大空間のクリーンルーム工場が必要となり，国内外で大型クリーンルームの建設が盛hに進められている。 本稿では，台湾でのTFT-LCD工場の実績と現在建設中である第6世代基板サイズの工場建設の概要や富士電機の取組みについて紹介する。