Исследования свойств нанопокрытия, наносимого методом финишного плазменного упрочнения

摘要

Приведены результаты исследования нанопокрытия на основе системы Si-О-С-N, наносимого безвакуум?ным методом финишного плазменного упрочнения. Показано, что при типичных скоростях перемещения плазмен?ной струи 10...100 мм/с покрытие наносится слоями толщиной 30...3 нм. Скорость охлаждения наносимого по?крытия составляет порядка -10~(10)...-10~(12) К/с, что предопределяет его аморфное состояние. Выявлено отсутст?вие на дифрактограммах линий фаз, не относящихся к материалу подложки, что подтверждает рентгено-аморфность покрытия. Установлено, что физико-механические свойства (высокие твердость и упругое восста?новление, низкий модуль Юнга) покрытия должны обеспечивать повышенные характеристики износостойкости изделий.