Современные микромеханические приборы содержат механические и электрические компоненты, которые изготавливаются по единой передовой нано- и микротехнологии. Поэтому преобразователи, содержащие упругие элементы, образуют микроструктуры с полностью воспроизводимыми параметрами, благодаря единому техпроцессу их производства. Разработана математическая модель сложнопрофильного упругого элемента подвеса механического акселерометра. Проанализированы математические модели расчета балочных (стержневых) упругих элементов подвесов микромеханических приборов, а также построены эпюры для различных схем нагружения, учтены опорные реакции, моменты и перезывающие силы, действующие на упругий элемент при деформациях изгиба. На основе проведенного анализа построена математическая модель расчета угловой жесткости нового сложнопрофильного чувствительного элемента, учитывающая модуль упругости первого рода материала упругого элемента, коэффициент Пуассона, радиус цилиндрических отверстий в упругом элементе, ширину элемента, толщину упругого элемента в его наиболее узкой части, а также отношение толщины к ширине с учетом максимального и минимального допусков.
展开▼
